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晶圆制造厂内,运转防范大的自动化物料搬运系统(AMHS),以忻悦朴直净度、高知晓性、高效果传送、高复杂度、低振动以及全自动化系统对接的需求。 苏州新施诺半导体诱惑有限公司由机器东谈主(300024)与和中芯聚源、诺华老本等产业投资东谈主归拢设立,当作AMHS诱惑和软件全体治理决议提供商,公司在本届湾芯展上展示了自主研发的AMHS天车系统,并取得了2025“湾芯奖”之超卓企业奖。 新施诺销售副总司理屠杰先容,跟着晶圆制造工艺向更先进制程和更大尺寸演进,晶圆厂对AMHS的需求大幅上涨,对物流系统的...


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晶圆制造厂内,运转防范大的自动化物料搬运系统(AMHS),以忻悦朴直净度、高知晓性、高效果传送、高复杂度、低振动以及全自动化系统对接的需求。

苏州新施诺半导体诱惑有限公司由机器东谈主(300024)与和中芯聚源、诺华老本等产业投资东谈主归拢设立,当作AMHS诱惑和软件全体治理决议提供商,公司在本届湾芯展上展示了自主研发的AMHS天车系统,并取得了2025“湾芯奖”之超卓企业奖。

新施诺销售副总司理屠杰先容,跟着晶圆制造工艺向更先进制程和更大尺寸演进,晶圆厂对AMHS的需求大幅上涨,对物流系统的效果、精度和知晓性条目达到前所未有的高度。绝顶是12英寸晶圆厂已成为行业主流,其坐褥领域大、工艺复杂、对良率敏锐性高,对AMHS天车系统提倡了极致条目。

据先容,半导体工场通过MES(制造引申系统)集中AMHS软件,AMHS系统报复软件对硬件诱惑发送相干教导,兑现了半导体Fab厂车间内的晶圆搬运,最终兑现了工场“无东谈主化坐褥”。在坐褥不同尺寸晶圆厂中,需要天车、AGV来搭配组合使用或分开使用。具体来看,在6英寸或8英寸晶圆厂中,物料搬运量不大,同期产物坐褥经由受工艺诱惑的礼貌,有计划到前期成本过问,AGV产物则占有一定的市集比例;比拟,12英寸晶圆厂客户更敬重“高效果、高知晓以及朴直净”的特色,因此物流系统以天车为主。

数据表现,在12英寸晶圆制造过程中,单片晶圆需在数百台诱惑间流转,资格上千谈工序,单次坐褥周期中晶圆传输里程超20公里;整厂OHT(天车系统)轨谈总长超50公里,逐日需完成50万次以上运载任务,其复杂性堪比王人市交通系统。OHT系统已从接济器具升级为晶圆厂的“神经收集”。

另一方面,晶圆制造厂的物流系统是一项投资纷乱、时代繁芜、周期漫长的系统性名堂,面对着时代与经管谋划的严峻历练,尤其是AMHS系管辖路性条目高,尽管天车是由工业级零部件拼装成的整机系统,但天车的知晓性条目是工业品的10倍以上。当今AMHS国产化仍面对时代壁垒高、整厂部署考证难、复合型东谈主才稀缺及中枢零部件供应链危境等多重挑战。

面对挑战,新施诺在时代革命方面已兑现OHT轻量化有计划迭代,并在适度器架构、时代阶梯及操作系统采用上酿成了专有上风,奋发于打造愈加知晓、高效、可控的国产天车系统;在生态设立上,新施诺坚抓绽放和谐的理念,通过供应链定约,深切与集成商的协同和谐,鼓吹政策和谐与产业安全布局,兑现资源分享、风险共担、共同考证,推动公司和全行业的进阶。

放手当今世界杯体育,新施诺已在国内多个12英寸及8英寸晶圆厂完成AMHS系统的委用与部署,公司提供高性能硬件诱惑,以及自主研发的软件系统,兑现对物流任务的智能报复、及时监控与高效经管,全面保险系管辖路运转,赋能晶圆厂兑现物流系统的智能化升级。



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